三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機(jī)械手0190-52910

 

       收到一套三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機(jī)械手，本體0190-52910，控制柜0190-46909。

       客戶說(shuō)發(fā)生了撞機(jī)，沒(méi)能檢查出原因。長(zhǎng)科維修師傅經(jīng)過(guò)拆機(jī)檢查，上電檢測(cè)，最終鎖定異常，原因是三軸電機(jī)編碼器和控制柜通訊板發(fā)生了故障。

 

三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機(jī)械手0190-52910

 

半導(dǎo)體機(jī)器人可參與的工作內(nèi)容：

1、晶圓粗研磨（雙面機(jī)械拋光）

半導(dǎo)體機(jī)器人將晶圓放置在上下研磨夾具之間，晶圓進(jìn)行旋轉(zhuǎn)，同時(shí)研磨機(jī)對(duì)研磨夾具內(nèi)進(jìn)行磨料送料，進(jìn)行兩面拋光。

 

三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機(jī)械手0190-52910

 

2、晶圓氧化處理

半導(dǎo)體機(jī)器人將晶圓放置在擴(kuò)散爐中進(jìn)行熱處理，通過(guò)高溫氧化處理使晶圓表面形成氧化層。

 

三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機(jī)械手0190-52910

 

3、晶圓清洗

半導(dǎo)體機(jī)器人將晶圓放置在清洗臺(tái)上，用化學(xué)藥劑和超純水清洗晶圓，以進(jìn)行下一步高潔凈度、高良率的芯片制造制程。

 

三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機(jī)械手0190-52910

 

4、晶圓檢查

半導(dǎo)體機(jī)器人將晶圓放置在晶圓AOI檢測(cè)器里，對(duì)晶片表面進(jìn)行光學(xué)外觀檢查，檢查晶圓的平整度、厚度與氧化膜厚度。

 

三協(xié)半導(dǎo)體硅片取放機(jī)械手0190-52910

5、晶圓包裝

半導(dǎo)體機(jī)器人將晶圓進(jìn)行保護(hù)膜覆膜，并將覆膜完成的晶圓被放置在晶圓運(yùn)輸箱中。