三協(xié)晶圓取放機(jī)械臂SR8240-1105

 

三協(xié)晶圓取放機(jī)械臂SR8240-1105

 

三協(xié)晶圓取放機(jī)械臂SR8240-1105

 

       客戶的三協(xié)雙臂晶圓轉(zhuǎn)移機(jī)械臂SR8240-1105因故障停機(jī)，寄來我司修理，經(jīng)排查發(fā)現(xiàn)，是伺服電機(jī)MC401AS 302KNN38出現(xiàn)了故障。更換電機(jī)后，即可運行正常。

 

三協(xié)晶圓取放機(jī)械臂SR8240-1105

 

三協(xié)晶圓取放機(jī)械臂SR8240-1105

 

三協(xié)雙臂晶圓取放機(jī)械臂SR8240-1105優(yōu)勢：

·體積小巧；

·適用于300mm 2~3個端口；

·獨立的雙末端執(zhí)行器可同時拾取2個晶圓；

·間距可以與FOUP移動同步，以同時放置2個晶圓。

 

三協(xié)雙臂晶圓取放機(jī)械臂SR8240-1105參數(shù)：

本體重量：60 kg；

清潔度：ISO Class 1；

運動模式：3-link 水平鉸接；

運動軸數(shù)：5；

 

工作范圍：

  Z軸（mm）：300；

  TH軸（°）：+/-180；

  X軸（mm）：-440 to +440；

  Roll軸（°）：+/-275；

 

最高速度：

  Z軸（mm/s）：500；

  TH軸（rad/s）：7.82；

  X軸（mm/s）：1692；

  Roll軸（rad/s）：9.24；

  線性運動（mm/s）：1000；

 

往復(fù)精度：

  XY（mm）：+/-0.1；

  Z（mm）：+/-0.1；

 

晶圓尺寸：200/300；

控制柜：SC5000-STD-0002。

 

長科智能可以維修如下機(jī)器人故障：

Robot手臂Cross Roller異常；

RB Z軸導(dǎo)螺桿異常更換；

RB Z軸剎車異常更換；

RB Z軸導(dǎo)軌滑塊異常更換；

三協(xié)Robot SERVO AMP版本升級，HWDEF參數(shù)內(nèi)容變更；

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