川崎電機(jī)R2AA1020AFCPKG 50601-0156

 

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      川崎晶圓搬運(yùn)機(jī)器人占據(jù)了全球晶圓搬運(yùn)機(jī)械人51%以上的市場(chǎng)份額。

 

川崎電機(jī)R2AA1020AFCPKG 50601-0156

川崎伺服電機(jī)R2AA1020AFCPKG 50601-0156參數(shù)：

功率：2.0KW

轉(zhuǎn)速：3000 min-1

 

      在晶圓切片，晶圓測(cè)試、固圓、導(dǎo)線架等工藝時(shí)使用二氧化碳雪清洗，可以去除各種污染物。半導(dǎo)體CO2清洗單元使用了川崎機(jī)器人與隆深機(jī)器人合資的隆崎機(jī)器人明星產(chǎn)品SCARA機(jī)器人KLS600，配合高精度、高品質(zhì)核心零部件，保證了設(shè)備的穩(wěn)定運(yùn)行。可適用于3C、半導(dǎo)體行業(yè)，解決了半導(dǎo)體行業(yè)消耗品成本高，清洗效率低等問題。