長科企業(yè)測試晶圓廠ASC儲位自動化清潔系統(tǒng)實例
儲位自動化清潔系統(tǒng)(ASC:Auto Shelf Clean)作用對象是玻璃基板收納盒(CST:cassette),而玻璃基板收納盒CST是智能倉儲系統(tǒng)(STK)的組成部分,智能倉儲系統(tǒng)STK能夠通過ASC上的條形碼給識別每一個AS,從而安排取放機Crane的機械手臂Fork提取ASC主體,這時ASC就會偵測到這個機械手臂Fork,就開始執(zhí)行吸塵程序,吸取玻璃基板收納盒CST里面的塵埃,保證將要被加工的玻璃基板是一塵不染的。
ASC儲位自動化清潔系統(tǒng)吸塵組分兩部分:
1、卡匣與取放機Crane接觸位置吸取點;
2、卡匣與棚位接觸位置吸取點;
通過STK Crane搬送時機構接觸到卡匣前后吸取接觸點集塵,減少粉塵顆粒產(chǎn)生,進而凈化整個STK智能倉儲系統(tǒng)內部環(huán)境。
ASC儲位自動化清潔還可選配功能:濕度檢測、溫度檢測、風速檢測、震動檢測、VOC。
此外,可通過無線通訊反饋 ASC 的電量到 CIM,以便及時充電,樣板機電量可持續(xù)工作8小時。
ASC儲位自動化清潔系統(tǒng)總結如下:
Stocker Crane Fork→Cleaner CST鐳射傳感器感知Crane Fork→Cleaner CST開始吸取Fork particle 15sec→Cleaner CST開始吸取Shelf load arm 15sec→脫離Fork與Shelf load arm停止